小型离子溅测仪主要利用辉光放电(glow discharge)，将氩气(Ar)离子撞击靶材(target)表面，靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜。
    主要用途是对样品进行镀金属，便于电子显微镜的观测。